Induction chauffage Graphite SUSCEPTEUR

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Chauffage Graphite SUSCEPTEUR

Heating Graphite Susceptor

Chauffage Graphite SUSCEPTEUR

Objectif

Pour chauffer un SUSCEPTEUR de graphite à 1100 ° C en atmosphère inerte d'azote et d'hydrogène. Le SUSCEPTEUR doit être utilisé pour des expériences de croissance d'oxyde métallique chemical vapor deposition (MOCVD) crystal. Vérification de la température atteinte est critique.
Matériaux Graphite SUSCEPTEUR mesurant de 3 po de diamètre et 1 1/4 po d'épaisseur.
Température de 1100 ° C
Fréquence 171 kHz
Puissance d'équipement de 30KW état solide induction alimentation dont un 1 station de chaleur distant contenant des condensateurs de deux 2 1.0 μF et un transformateur de haute tension et un 4 quatre tourner à enroulement hélicoïdal avec un "5" à l'intérieur de diamètre et une longueur de 1 1/2 po.
Processus la puissance de 30KW état solide induction d'alimentation avec un 4 quatre tourner à ressorts hélicoïdaux et une couleur deux pyromètre optique IR ont été utilisées pour obtenir les résultats suivants :
Résultats • 1100 ° C est atteinte en 5 cinq minutes lu depuis le pyromètre optique bicolore IR.
• Un modèle de chaleur homogène a été observée.

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